案例分享：催化无油空压机BGC在「半导体」行业的应用案例

半导体是电子科技的基石，其制造过程对压缩空气品质要求极高。微量油分的污染可能影响设备品质。为此，行业严格规定：压缩空气系统出口含油量需达到 GB/T13277.1-2023（ISO8573.1）Class 0 级无油标准，确保系统始终处于洁净稳定的状态。

用户背景介绍

本案例用户是一家半导体核心设备制造企业，同时也是国内该领域的创新引领者，致力于为集成电路制造业提供先进的刻蚀装备及系统化工艺解决方案。

选择无油解决方案

用户原有压缩空气系统采用75kW干式无油螺杆空压机，多年运行后，面临故障率升高、使用成本升高及供气能力下降的问题。为了持续保障生产稳定与0级无油标准，结合目前实际用气需求，用户最终选用:55kW催化无油空压机(型号：BGC55-10II)。

▲ 用户现场

设备安装运行后，使用油蒸汽检测设备S120对催化无油空压机出口的含油量进行检测。在客户使用的额定工况下，检测设备出口总含油量低至0.001mg/m³，达到ISO8573.1的0级无油标准。与原有75kW干式无油螺杆空压机相比，催化无油空压机不仅保证了同等高品质的气源，其节能效率也显著提升，整体表现获得了用户的充分肯定。